粗糙度輪廓測量一體機技術優勢
1、一次測量,實現粗糙度、波紋度、輪廓分析。
2、實現全范圍內的粗糙度、波紋度測量。
3、X向采用新型數字式傳感器,精度更高,Z1采用自主研發高精度多段式電感傳感器。
4、多段式高精度傳感器具有超大量程,最大限度保持了傳感器的原有精度。
5、采用高剛性高精度免維護直線運動導軌,精密控制系統。
6、采用高速并行數據采集單元,硬件觸發、硬件高速采樣,無延時;足夠密集及穩定的數據源為后期數據處理、計算提供最有力的保障。
7、寬范圍粗糙度、精密輪廓測量的復合機型。
8、粗糙度、輪廓共用傳感器,測量功能切換僅需更換測針即可。
粗糙度輪廓測量一體機具有傳統的粗糙測量儀和輪廓儀完整的測量功能
輪廓測量:各種類型工件表面的線要素,點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
SPR2000型粗糙輪廓一體機參數
測量范圍 | 項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
驅動率 | 150mm | 0.2um | |
輪廓傳感器 | 15mm | 0.45um | |
粗糙度傳感器 | ±420um | 65536:1 | |
立柱 | 420mm | ---- | |
輪廓儀部分技術參數 | 線性精度1 | ±(1.5+0.2H)μm | |
圓弧2 | ±(2+R/8)μm | ||
角度3 | ±2′ | ||
直線度4 | 0.8μm/100mm | ||
粗糙度部分技術參數 | 線性精度 | ±4% | |
殘值噪聲 | ≤0.02μm | ||
重復性 | 1δ≤2nm | ||
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8 | ||
評定長度 | λcX2、3、4、5、6、7 | ||
運動控制 | X軸驅動方式 | 電動 | |
Z軸驅動方式 | 電動 | ||
X軸驅動速度 | 0.1~10mm/s | ||
Z軸驅動速度 | 0.5-10mm/s |